产品描述





CV-4500系列:10,20,30,40,50mN(根据软件转换)跟踪角度向上:77º,向下:83º(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)驱动部长度基准X轴激光全息光栅尺Z2轴(立柱)ABS光栅尺分辨力X轴0.05μmZ2轴(立柱)



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